特許
J-GLOBAL ID:200903058351390348
光イメージングシステム及び光イメージのデータ処理方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-052575
公開番号(公開出願番号):特開2003-255231
出願日: 2002年02月28日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】 高空間分解能の走査型光学顕微鏡観察が簡便かつ安定して実行可能な、50nmレベルの空間分解能を備える光イメージングシステム及び光イメージのデータ処理方法を提供すること。【解決手段】 データ処理系に備えるコンピュータに、2次元光検出装置で得た各光照射領域毎の2次元光強度分布を基に点像分布関数を種関数とする逆演算により再構成した2次元光強度分布を積算して全観察領域の2次元光強度分布を構成するための演算を実行させて全観察領域の光強度分布を画像として表示する構成とした。また、この演算に際して、2次元光検出装置で得た各光照射領域毎の2次元光強度分布を構成する各光信号強度データに点像分布関数による最小2乗フィルタを掛けることで信号光強度を補正して2次元光強度分布を再構成することとした。
請求項(抜粋):
光源から射出された光をスポット光として観察試料に照射して該観察試料からの信号光を受光するための光学系と、該信号光を観察試料画像として再生するためのデータ処理系とで構成された光イメージングシステムであって、前記光学系は、試料観察位置を2次元平面内で変化させるための観察位置設定手段と、前記スポット光の照射領域から得られる信号光の2次元光強度分布を認識可能な光検出手段とを備え、前記データ処理系は、前記光検出手段で得た信号光の2次元光強度分布を前記観察試料上の各光照射領域に対応させて記憶するための記憶手段と、前記光検出手段で得た各光照射領域毎の2次元光強度分布を基に点像分布関数を種関数とする逆演算により再構成した2次元光強度分布を積算して全観察領域の2次元光強度分布を構成するための演算手段と、該演算手段により構成された全観察領域の光強度分布を画像として表示するための表示手段とを備えることを特徴とする光イメージングシステム。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B 21/00
, G01B 11/24 K
Fターム (28件):
2F065AA51
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL13
, 2F065LL28
, 2F065LL30
, 2F065MM11
, 2F065PP24
, 2F065QQ16
, 2F065QQ18
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2H052AA08
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AD16
, 2H052AD32
, 2H052AD35
, 2H052AF06
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
引用特許:
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