軸方向照明による形状の光電獲得方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本恵一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-553768
公開番号（公開出願番号）：特表2002-517742
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2002年06月18日
要約：

【要約】異なる波長を有し、軸照明方向(Y)上の表面(S)の近くの異なる点で集束する光ビーム(10)で表面(S)を照明し、表面(S)によって前記方向(Y)に反射または後方散乱された光をスペクトル分析し、分析した光の波長および/またはスペクトル幅から表面(S)上の点の基準平面(X,Y)に対する距離を決定することによって、表面の形状を光電的に獲得する方法および装置。

請求項（抜粋）：

表面を照明する段階と、前記表面によって所与の方向に反射または後方散乱された光を捕獲する段階と、前記光を分析する段階と、前記表面上の点の基準平面に対する距離を推定する段階からなる、表面の形状の光電獲得の方法であって、異なる波長を有し、軸照明方向(Y)上のこの方向に沿って分布する異なる点で集束する複数の光ビーム(10)で前記表面(S)を照明する段階と、少なくとも1つの前記ビーム(10)によって照明された前記表面上の少なくとも1つの点によって反射または後方散乱された光を捕獲する段階と、捕獲した光をスペクトル分析する段階と、そのスペクトル組成から前記点の基準平面(X,Z)に対する距離を推定する段階からなることを特徴とする方法。

Fターム (27件)：

2F065AA06 , 2F065AA54 , 2F065BB05 , 2F065DD06 , 2F065FF61 , 2F065GG02 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065HH05 , 2F065HH13 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065LL67 , 2F065NN20 , 2F065PP11 , 2F065QQ23

引用特許：

審査官引用 (8件)

高さ判別装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-181681 出願人：オムロン株式会社
特開平4-313008
特開平4-313008

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