特許
J-GLOBAL ID:200903058384069197
光走査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鈴木 誠
, 大浦 一仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-195527
公開番号(公開出願番号):特開2004-037886
出願日: 2002年07月04日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】捻り梁で支持された微小ミラーを、捻り梁を捻り回転軸として往復振動させる光走査装置において、ミラーを軽量化するとともにミラーの反りを効果的に抑える。【解決手段】ミラー33は捻り梁32を捻り回転軸として往復振動するが、捻り回転軸と平行なミラー33の断面2次モーメントが、捻り回転軸から離れるに従って減少するように、ミラー33の断面形状を捻り回転軸からの距離に応じて変化させる。具体的には、例えば、ミラー33の裏面を肉抜きし、この肉抜きの面積又は深さを、捻り回転軸から離れるに従って増加させる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ミラーが捻り梁により支持され、前記捻り梁を捻り回転軸として前記ミラーを往復振動させる構成の光走査装置において、前記ミラーの前記捻り回転軸と平行な断面2次モーメントが前記捻り回転軸から遠ざかるに従って減少にするように、前記ミラーの断面形状を前記捻り回転軸からの距離に応じて変化させたことを特徴とする光走査装置。
IPC (3件):
G02B26/10
, B41J2/44
, B81B3/00
FI (4件):
G02B26/10 F
, G02B26/10 104Z
, B81B3/00
, B41J3/00 D
Fターム (7件):
2C362BA18
, 2C362BA83
, 2H045AB06
, 2H045AB26
, 2H045AB44
, 2H045AB73
, 2H045DA02
引用特許:
審査官引用 (5件)
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光偏向器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-206591
出願人:日本ビクター株式会社
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特開昭59-074540
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マイクロミラー装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-339970
出願人:三菱電機株式会社
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