特許
J-GLOBAL ID：200903058526041872
クラスタツールおよび搬送制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-108926
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305225
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：
【要約】【課題】 ロードロック室が設けられたクラスタツールでの搬送遅延を改善する。【解決手段】 ロードロック室LL1、LL2とローダモジュールLMとの間でのウェハWの入れ替えタイミングを基準として、いずれかのロードロック室LL1、LL2にウェハWが搬入された時Tpに、そのロードロック室LL1、LL2に次のウェハWを搬入可能となるまでの時間PSLを算出する。そして、このPSLが算出されると、ローダアームLA1、LA2は、ロードロック室LL1、LL2に搬入可能となるまでの時間が最も短い次のウェハWを、ロードポートLP1〜LP3から選択する。
請求項（抜粋）：
処理対象のプロセス処理を行う複数のプロセス室と、前記プロセス室にそれぞれ連結され、前記プロセス室に前記処理対象を搬送するロードロック室と、前記ロードロック室に連結され、前記ロードロック室に前記処理対象を搬送するローダモジュールと、前記処理対象を前記ロードロック室に搬送可能となるタイミングに基づいて、前記ローダモジュールが次に搬送する処理対象の選択を行う搬送制御手段とを備えることを特徴とするクラスタツール。
Fターム (17件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA08
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA50
, 5F031MA03
, 5F031MA07
, 5F031MA13
, 5F031NA05
, 5F031PA03
