切削方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：亀谷美明 , 金本哲男 , 萩原康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-025036
公開番号（公開出願番号）：特開2005-217334
出願日： 2004年02月02日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】対向配置された2つの切削ブレードを備えた切削装置において,双方の切削ブレードの消耗量が略均等になるように切削することの可能な切削方法を提供すること。【解決手段】対向配置された第1及び第2の切削ブレード22a,22bを具備する切削装置において,被加工物12の略平行な複数本の切削ラインLを切削する切削方法が提供される。この切削方法は,第1および第2の切削ブレード22a,22bの消耗量を測定する工程と;複数本の切削ラインLのうち,第1および第2の切削ブレード22a,22bの双方を使用して同時に切削不可能な切削ラインL4〜6を,第1の切削ブレード22aと第2の切削ブレード22bのうち,消耗量が少ない方の切削ブレードを使用して切削するシングル切削工程と;を含むことを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと,前記被加工物を切削する第1の切削ブレードおよび第2の切削ブレードと,前記第1の切削ブレードが装着される第1のスピンドルと,前記第2の切削ブレードが装着される第2のスピンドルとを備え,前記第1のブレードと前記第2のブレードとが対向するように,前記第1のスピンドルと前記第2のスピンドルとが軸方向を同一にして配設された切削装置において,前記被加工物の略平行な複数本の切削ラインを切削する切削方法であって: 前記第1および第2の切削ブレードの消耗量を測定する,消耗量測定工程と; 前記複数本の切削ラインのうち,前記第1および第2の切削ブレードの双方を使用して同時に切削不可能な切削ラインを,前記第1の切削ブレードと前記第2の切削ブレードのうち,前記測定された消耗量が少ない方の切削ブレードを使用して切削する,シングル切削工程と; を含むことを特徴とする,切削方法。

IPC (2件)：

H01L21/301 , B24B27/06

FI (2件)：

H01L21/78 F , B24B27/06 M

Fターム (15件)：

3C058AA03 , 3C058AA11 , 3C058AA13 , 3C058AA18 , 3C058AC02 , 3C058BA02 , 3C058BA07 , 3C058BA14 , 3C058BB02 , 3C058BB06 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

精密切削装置及び切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-176935 出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (4件)

精密切削装置及び切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-176935 出願人：株式会社ディスコ
特開昭60-044242
切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-011548 出願人：株式会社ディスコ

全件表示

前のページに戻る