プラズマに基づき強力短波長放射線を発生するための方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田アキラ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-021411
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243624
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】プラズマに基づき強力短波長放射線を発生するための方法および装置を提供する。【解決手段】追加のエネルギビーム(32)が、高エネルギビーム(31)との相互作用に先行してターゲット流に空間的に方向付けられ、ターゲット流(2)が、当該ターゲット流を第1の部分(21)と少なくとも1つの第2の部分(22)とに分割するために、高エネルギビームと比較して遥かに弱いエネルギパルスを用いて前記追加のエネルギビームによって付勢され、ターゲット流は、高温放射プラズマ(4)を発生するための高エネルギビームによって第2の部分内の相互作用点で励起され、また、第2の部分は、高エネルギビームのパルスによって第2の部分に発生された流体力学的妨害が無視できる程度にのみ第1の部分に伝達されるように、第1の部分から従ってターゲット発生器(1)から切り離される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマに基づき軟X線放射線を発生するための、特に極紫外線(EUV)放射線を発生するための方法であって、再現可能に提供される、定義部分からなるターゲット流が、放射線放出プラズマを励起するためにパルス高エネルギビームと相互作用するようにされ、該相互作用により放射線放出プラズマの発生が行われる方法において、追加のエネルギビーム(32)が、高エネルギビーム(31)との相互作用に先行して前記ターゲット流に空間的に方向付けられ、ターゲット流(2)が、当該ターゲット流(2)を第1の部分(21)と少なくとも1つの第2の部分(22)とに分割するために、高エネルギビーム(31)と比較して遥かに弱いエネルギパルスを用いて前記追加のエネルギビーム(32)によって付勢され、ターゲット流(2)が、高温放射プラズマ(4)を発生するための高エネルギビーム(31)によって第2の部分(22)内の相互作用点で励起されることと、第1の部分(21)が、ターゲット発生器(1)により、低発散の連続ターゲットジェット(21)として発生され、また、第2の部分(22)が、少なくとも、前記相互作用点(24)の高エネルギビーム(31)のパルスによって第2の部分(22)に発生された流体力学的妨害が最大でも追加のエネルギビーム(32)の妨害と比較して無視できる妨害として第1の部分(21)に伝達されるように、第1の部分(21)から従ってターゲット発生器(1)から切り離されることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

H05G2/00 , G03F7/20 , G21K5/08 , H01L21/027

FI (4件)：

H05G1/00 K , G03F7/20 503 , G21K5/08 X , H01L21/30 531S

Fターム (10件)：

2H097CA15 , 2H097GB04 , 4C092AA06 , 4C092AA14 , 4C092AA15 , 4C092AB19 , 4C092AC09 , 4C092BD18 , 5F046GC01 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (5件)

欧州特許第0 186 491 B1号明細書
米国特許第5,577,092号明細書
国際公開第01/30122号パンフレット

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審査官引用 (4件)

LPP光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-110393 出願人：ギガフォトン株式会社
放射線を生じさせる方法および装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-504579 出願人：ジェテック・アクチエボラーグ
X線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法および装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-538003 出願人：ジェテックアクチボラグ

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