特許
J-GLOBAL ID：200903058729282956
定盤形状制御装置および平面加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-077182
公開番号（公開出願番号）：特開2008-229828
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】定盤の全面が同じ温度となるように制御して熱膨張を抑止する定盤形状制御装置を提供する。また、この定盤形状制御装置を備えてワークの平面精度を向上させるような平面加工装置を提供する。【解決手段】内周センサ17、外周センサ19および中間センサ18から無線送信された物理量が、予めデータベースに登録された内周、外周および中間の所定の物理量に近づくように定盤内周熱交換室11、上定盤中間熱交換室12、上定盤外周熱交換室13、下定盤内周熱交換室14、下定盤中間熱交換室15、下定盤外周熱交換室16に冷媒を送って上定盤101および下定盤102を冷却する定盤形状制御装置10、およびこの定盤形状制御装置10を備える平面加工装置とした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
円状または環状に形成される定盤の形状を制御する定盤形状制御装置であって、
定盤の内部であって内周側に環状に形成される内周熱交換室と、
内周熱交換室付近の定盤についての物理量を検出して無線送信する内周センサと、
内周熱交換室に冷媒を循環させる内周冷媒循環部と、
定盤の内部であって外周側に環状に形成される外周熱交換室と、
外周熱交換室付近の定盤についての物理量を検出して無線送信する外周センサと、
外周熱交換室に冷媒を循環させる外周冷媒循環部と、
定盤の内部であって内周熱交換室および外周熱交換室の間に環状に形成される一または複数の中間熱交換室と、
中間熱交換室付近の定盤についての物理量を検出して無線送信する一または複数の中間センサと、
一または複数の中間熱交換室に冷媒を循環させる一または複数の中間冷媒循環部と、
内周センサ、外周センサおよび中間センサから無線送信された物理量をそれぞれ入力する手段と、入力された内周、外周および中間の物理量と予めデータベースに登録された内周、外周および中間の所定の物理量とを比較する手段と、内周、外周および中間の物理量がデータベースに登録された内周、外周および中間の所定の物理量に近づくように内周冷媒循環部、外周冷媒循環部および中間冷媒循環部を制御する制御手段と、を有する駆動制御装置と、
を備えることを特徴とする定盤形状制御装置。
IPC (4件)：
B24B 37/00
, B24B 37/04
, H01L 21/304
, B24B 49/14
B24B37/00 J
, B24B37/04 F
, H01L21/304 622R
, B24B49/14
, B24B37/04 T
, H01L21/304 622F
3C034AA20
, 3C034BB94
, 3C034CA19
, 3C034CB14
, 3C034DD07
, 3C058AA09
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BA08
, 3C058BA13
, 3C058BB02
, 3C058BC02
, 3C058CB01
, 3C058CB03
