特許
J-GLOBAL ID：200903058856518527
走査電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-335915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167893
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 異物検査装置から送られてくる異物の座標データを走査電子顕微鏡の座標に変換する作業が簡便に行えるようにする。【解決手段】 座標変換式の導出に使用する異物の座標値を、座標変換に影響されないステージ座標系でも登録する。座標を登録した異物のうちから実際に座標変換式の導出に使用する異物を任意又は自動的に選択できるようにする。例えば、走査電子顕微鏡での座標値を登録した異物35のうち、マウス19で選択した領域37内にある異物36のみを使って座標変換式を導出する。
請求項（抜粋）：
試料を保持/移動する装置内のステージによって定義されるステージ座標系内で2次元的に移動可能なステージと、前記ステージ上に保持された試料に電子線を収束して走査する手段と、電子線照射によって試料から発生する二次粒子を検出する検出手段とを備え、前記検出手段の出力を用いて試料像を形成する走査電子顕微鏡において、前記ステージ上の試料の形状に合わせて定義される試料座標系を設定する試料座標系設定手段と、前記試料上の観察対象物の位置を指示するために他の装置から供給された座標値を前記試料座標系での座標値に変換する座標変換手段とを備え、前記座標変換手段は、前記観察対象物の前記試料座標系で検出した座標値を登録する座標値登録手段と、前記観察対象物に対して前記他の装置から供給された座標値と前記座標値登録手段に登録された検出座標値との間の誤差を演算する座標誤差演算手段と、前記誤差が最小となるように座標変換式を設定する座標変換式設定手段とを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502
, H01L 21/66
H01J 37/22 502 H
, H01L 21/66 J
