特許
J-GLOBAL ID：200903058912294262

クラスタービームの強度とクラスターサイズ 分布の測定方法

発明者：
阿部 泰三

阿部 泰三 について

, 
山田 公

山田 公 について


出願人/特許権者：
新技術事業団

新技術事業団 について

, 
アユミ工業株式会社

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代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244414
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111197
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【構成】 クラスターイオンビーム照射装置内に、クラスタービームの放射軸上に可動式の電離真空計(4)と、メッシュ状の減速電界電極(7)並びにファラデーカップ(8)とを配置し、クラスターイオンビームを固体表面に照射中にクラスタービームの強度とクラスターサイズを測定する。【効果】 クラスターイオンビームの状態を実際の照射環境で随時確認することが可能となる。
請求項（抜粋）：
原子集団または分子集団であるクラスターに電子を照射して生成させたクラスターイオンビームの照射において、ノズルからガスを噴出させて形成したクラスタービームの放射軸上に可動式の電離真空計を配置してクラスタービームの強度を測定することを特徴とするクラスターイオンビームのクラスタービーム強度計測方法。
IPC (3件)：
H01J 37/08 ,  H01J 27/20 ,  H01J 37/04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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