特許
J-GLOBAL ID：200903058933191099
ウエハ搬送チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-334193
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168131
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】ウエハの搬送を行う搬送ロボットに取り付けられたウエハ搬送チャックに、温度調整ユニットを取り付けることにより、ウエハのプロセス処理時間の短縮と製造装置の小型化を図る。【解決手段】従来の加熱ステージおよび冷却ステージを省き、代わってウエハ1を吸着支持するウエハ搬送チャック2にペルチェ素子3を取り付ける。このチャック2を搬送ロボット5に取り付け、ウエハ処理室から加熱されたウエハを取り出してチャック上で冷却しウエハキャリアに収納する手段と、ウエハキャリアに収納されたウエハを取り出してチャック上で予備加熱しウエハ処理室に搬送する手段とを備える。
請求項（抜粋）：
ウエハの熱処理工程に使用しウエハを真空吸着してウエハキャリアとウエハ処理室との間でウエハの受け渡しを行うウエハ搬送チャックにおいて、前記ウエハの温度を制御する温度調整ユニットを備えたことを特徴とするウエハ搬送チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 B
, B65G 49/07 G
