特許

J-GLOBAL ID：200903058936208111

炭化ケイ素結晶成長用装置

発明者： グラス,ロバート シー. ,  ガイダ,ウォルター イー. ,  ロナッロ,ロナルド アール. ,  ハブグッド,ハドソン マクドナルド
出願人/特許権者： ノースロップ グラマン コーポレーション
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-527737
公開番号（公開出願番号）：特表2001-506222
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】結晶成長用の炉の中に置くための炭化ケイ素成長容器。この成長容器は、容器の内側をシールする熱分解グラファイトのライナーを有するとともに、成長した炭化ケイ素結晶の取り出しを容易にする。

請求項（抜粋）：

(a)結晶成長用の炉の中に置くための結晶成長容器を備え、 (b)この容器が、長手軸に沿って延びる結晶成長用キャビティを有し、さらに、 (c)そのキャビティの中に配置されて前記長手軸を取り囲む熱異方性ライナーを備えてなる炭化ケイ素結晶の成長に用いられる装置。

IPC (2件)：

C30B 29/36 ,  C30B 23/00

FI (2件)：

C30B 29/36 A ,  C30B 23/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 炭化珪素単結晶の製造方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-144410   出願人：シャープ株式会社
• 4H形炭化珪素単結晶の成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-126463   出願人：新日本製鐵株式会社