特許
J-GLOBAL ID:200903058942822220
半導体試験装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 喜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-029371
公開番号(公開出願番号):特開2000-227461
出願日: 1999年02月05日
公開日(公表日): 2000年08月15日
要約:
【要約】【課題】 管理工数を削減でき、しかも間違ったプログラムを実行することを防止できる半導体試験装置を提供する。【解決手段】 テストボード110上にテストプログラムを格納したボード記憶装置112を搭載し、このボード記憶装置112からテストプログラムを読み込むようにして被測定半導体装置10をテストする。
請求項(抜粋):
被測定半導体素子を着脱自在に装着できるテストボードと、前記テストボードを装着できると共に、前記被測定半導体素子に所定のテストプログラムに基づいて前記被測定半導体素子の良否判定を行う半導体試験装置本体とを備える半導体試験装置において、前記テストボードが、前記テストプログラムの全部又は一部を格納するボード記憶装置を搭載し、前記半導体試験装置本体が、前記ボード記憶装置に格納されている前記テストプログラムに基づいて前記被測定半導体素子の良否判定を行うことを特徴とする半導体試験装置。
IPC (3件):
G01R 31/28
, G01R 31/26
, G06F 11/22 330
FI (3件):
G01R 31/28 H
, G01R 31/26 G
, G06F 11/22 330 B
Fターム (19件):
2G003AA07
, 2G003AB19
, 2G003AF06
, 2G003AG01
, 2G003AG08
, 2G003AG17
, 2G003AH01
, 2G003AH07
, 2G032AE08
, 2G032AE10
, 2G032AE12
, 2G032AF02
, 2G032AG02
, 2G032AJ07
, 2G032AL01
, 2G032AL11
, 5B048AA20
, 5B048BB00
, 5B048DD02
引用特許:
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (12件)
-
特開平3-228343
-
特開平3-228343
-
特開平4-169874
全件表示
前のページに戻る