特許
J-GLOBAL ID：200903058972566342
ビームスプリッタおよびこれを具備した複合光学素子、ならびに光学ピックアップ装置および光記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-119515
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312330
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 光吸収ロス、入射角度依存性、偏光分離差が何れも小であるビームスプリッタを提供し、これを具備する複合光学素子を提供し、高品質な記録再生特性、小消費電力、小型薄型な光学ピックアップ装置、光記録再生装置の提供。【解決手段】 ビームスプリッタ膜(ハーフミラー膜2)が、屈折率n<SB>1 </SB>の第1層膜2a(例えばn<SB>1 </SB>2.28のTiO<SB>2 </SB>膜)、第1層膜2a上の屈折率n<SB>2 </SB>がn<SB>2 </SB><n<SB>1 </SB>の第2層膜2b(例えばn<SB>2 </SB>1.63のAl<SB>2 </SB>O<SB>3 </SB>膜)、第2層膜2b上の屈折率n<SB>3 </SB>がn<SB>3 </SB><n<SB>2 </SB>の第3層膜2c(例えばn<SB>3 </SB>1.46のSiO<SB>2</SB>膜)、第3層膜2c上の屈折率n<SB>4 </SB>がn<SB>4 </SB>≒n<SB>2 </SB>の第4層膜2d(例えばn<SB>4 </SB>1.63のAl<SB>2 </SB>O<SB>3 </SB>膜)、第4層膜2d上の屈折率n<SB>5 </SB>がn<SB>5 </SB>≒n<SB>1 </SB>の第5層膜2e(例えばn<SB>5 </SB>2.28のTiO<SB>2 </SB>膜)、第5層膜2e上の屈折率n<SB>6 </SB>がn<SB>6</SB>≦n<SB>3 </SB>の第6層膜2f(例えばn<SB>6 </SB>1.38のMgF<SB>2 </SB>膜)を有する。
請求項（抜粋）：
少なくとも、入射光の光軸に対してほぼ45度の斜面にビームスプリッタ膜が形成されているビームスプリッタにおいて、前記ビームスプリッタ膜が、屈折率がn<SB>1 </SB>である第1層膜と、前記第1層膜上に形成されるとともに、屈折率n<SB>2 </SB>が前記第1層膜の屈折率n<SB>1 </SB>に対してn<SB>2 </SB><n<SB>1 </SB>の関係にある第2層膜と、前記第2層膜上に形成されるとともに、屈折率n<SB>3 </SB>が前記第2層膜の屈折率n<SB>2 </SB>に対してn<SB>3 </SB><n<SB>2 </SB>の関係にある第3層膜と、前記第3層膜上に形成されるとともに、屈折率n<SB>4 </SB>が前記第2層膜の屈折率n<SB>2 </SB>に対してn<SB>4 </SB>≒n<SB>2 </SB>の関係にある第4層膜と、前記第4層膜上に形成されるとともに、屈折率n<SB>5 </SB>が前記第1層膜の屈折率n<SB>1 </SB>に対してn<SB>5 </SB>≒n<SB>1 </SB>の関係にある第5層膜と、前記第5層膜上に形成されるとともに、屈折率n<SB>6 </SB>が前記第3層膜の屈折率n<SB>3 </SB>に対してn<SB>6 </SB>≦n<SB>3 </SB>の関係にある第6層膜とを有することを特徴とするビームスプリッタ。
引用特許：
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