特許
J-GLOBAL ID:200903058989266636

凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伴 俊光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-060450
公開番号(公開出願番号):特開平11-239750
出願日: 1998年02月25日
公開日(公表日): 1999年09月07日
要約:
【要約】【課題】 プラズマディスプレイのように一定の凹凸状パターンが形成された凹凸基材の凹部に塗液を塗布するに際し、塗布の均一化、開口部面の清浄化を達成する。【解決手段】 表面にストライプ状に凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブルと、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する塗液供給装置と、テーブルと塗液吐出装置を3次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、塗液供給装置が、内部に一旦蓄積した塗液を塗液吐出装置に定容量間欠的に吐出供給できる間欠動作型ポンプを有するものであり、また、塗布装置は、塗液吐出装置の開口部面に残存する塗液を除去する塗液除去手段を有する、凹凸基材への塗液の塗布装置、およびその塗布方法、並びにそれを用いたプラズマディスプレイの製造装置および方法。
請求項(抜粋):
表面にストライプ状に凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブルと、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する塗液供給装置と、テーブルと塗液吐出装置を3次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、前記塗液供給装置は、内部に一旦蓄積した塗液を塗液吐出装置に定容量間欠的に吐出供給できる間欠動作型ポンプを有することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布装置。
IPC (5件):
B05C 5/00 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  G09F 9/313 ,  H01J 9/227
FI (5件):
B05C 5/00 Z ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 D ,  G09F 9/313 Z ,  H01J 9/227 E
引用特許:
審査官引用 (2件)

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