特許
J-GLOBAL ID：200903059024402401
感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-249491
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090627
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】容易に製造でき、かつ、ネガ型の優れた機能を有する感光性ポリイミド前駆体組成物を得る。【解決手段】式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ、エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基および/またはアミド基を有する化合物、特定のオキシム化合物、および芳香族アミノ化合物を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物。(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3は、水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマー(A)、【化1】(R1 は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は、水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)で表される構造単位[1]を主成分とするポリマーと、(b)エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基および/またはアミド基を有する化合物(B)、(c)一般式(2)で表されるオキシム化合物(C)と、【化2】(ただし、式中R4 、R5 は炭素数1〜20の有機基、R6 は少なくとも2個の炭素原子を有する1〜4価の有機基、mは1〜4である。)(d)芳香族2級または芳香族3級アミン化合物(D)を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 503
, G03F 7/037 501
, G03F 7/038 504
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 503
, G03F 7/037 501
, G03F 7/038 504
, G03F 7/038 505
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
