特許
J-GLOBAL ID：200903059025712960
レーザー光の波面の測定法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288301
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108530
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】測定装置の簡素化及び小型化を図り、レーザー光の強度分布の測定からレーザー光の波面を求める測定法を提供する。【解決手段】レーザー光の波面の測定法は、レーザー光の光軸に垂直な且つ光軸に沿って間隔を有する2つの平面でのレーザー光の強度分布を測定する段階、及び前記段階により得られた測定値に基づき所定の計算アルゴリズムに従ってレーザー光の波面を求める段階を含む。所定の計算アルゴリズムが、フレネル伝搬計算を含むことにより、2つの平面の間隔が任意に選択可能であり、また、2つの平面以外のレーザー光の波面が推定可能である。
請求項（抜粋）：
レーザー光の波面の測定法であって、レーザー光の光軸(z)に垂直な且つ光軸に沿って間隔を有する2つの平面でのレーザー光の強度分布を測定する段階、及び前記段階により得られた測定値(I0,IZ)に基づき所定の計算アルゴリズムに従ってレーザー光の波面φ(x,y)を求める段階を含むことを特徴とする測定法。
引用特許：
引用文献：
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