特許
J-GLOBAL ID：200903059141619594

リニアモータ装置、これを用いたステージ装置、露光装置、リニアモータの駆動方法、ステージ装置の駆動方法、露光方法、及び、デバイスの製造方法。

発明者：
戸津 政浩

戸津 政浩 について

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小野 一也

小野 一也 について

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宇田 豊

宇田 豊 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-290254
公開番号（公開出願番号）：特開2001-119916
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 余分な電力の消費、発熱を抑えることができるリニアモータを提供する。【解決手段】 リニアモータ100には、固定子110側に複数のコイル111...、112...が配列されている。コイル111...、112...と制御部200との間には複数のスイッチ(S01)〜(S30)が設けられている。スイッチ(S01)〜(S30)には、可動子110の位置に応じてこれをオン/オフ制御するスイッチ切換制御部230が接続されている。リニアモータ100、スイッチ(01)〜(S30)、制御部200によってリニアモータ装置が実現される。このリニアモータ装置では、可動子110の移動に寄与しないコイルへの電流が遮断され、余分な電力の消費、発熱が抑えられる。
請求項（抜粋）：
複数のコイルを有するコイルユニットが配置された固定子と、複数の磁石を有する磁石ユニットが配置された可動子と、前記複数のコイルに電流を供給する電流制御部と、前記電流制御部と前記コイルとの間に設けられた複数のスイッチと、前記可動子の位置に応じて前記複数のスイッチを制御するスイッチ制御手段と、を備えることを特徴とするリニアモータ装置。
IPC (5件)：
H02K 41/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H02K 41/03 ,  H02P 7/00 101
FI (6件)：
H02K 41/02 B ,  G03F 7/20 521 ,  H02K 41/03 A ,  H02P 7/00 101 B ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G
Fターム (28件)：
5F046CC01 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5H540AA10 ,  5H540BA03 ,  5H540BA05 ,  5H540BB02 ,  5H540BB05 ,  5H540BB09 ,  5H540EE05 ,  5H540FA04 ,  5H540FA14 ,  5H641BB06 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG15 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH06 ,  5H641HH13 ,  5H641JB05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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