収容装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220541
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067618
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】半導体露光装置などを、それが汚染されない空気雰囲気中に配することができるようにする。【解決手段】半導体露光装置などの外表面に接触して流れる空気流を、通気性空気流浄化手段に通して、半導体露光装置に向わせるようにし、この場合、通気性空気流浄化手段が、上記空気流を通す通気性光触媒フィルタと、それをその光触媒が励起される照明光で照射する照明手段とを有する。

請求項（抜粋）：

半導体露光装置などの装置を空気雰囲気中に配されている状態に収容する収容装置において、上記装置の外表面に接触して流れる空気流を生成させる空気流生成手段が設けられているとともに、上記空気流生成手段によって生成される空気流を浄化させる通気性空気流浄化手段が、上記空気流中に介挿される状態になり得るように且つ当該通気性空気流浄化手段によって浄化された空気流が上記装置の外表面に接触して流れ得るように、設けられ、上記通気性空気流浄化手段が、?@光触媒を用いて構成され且つ上記空気流中に介挿される状態になり得るように配されている通気性光触媒フィルタと、?Aその通気性光触媒フィルタを構成するのに用いている光触媒を励起し得る照明光を出射し得るようになされているとともに、その照明光で上記通気性光触媒フィルタを照明させ得るように且つ上記空気流の流れを全く阻止することのないように配されている照明手段とを有することを特徴とする収容装置。

IPC (4件)：

H01L 21/02 , B01D 39/14 , B65G 1/00 521 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/02 D , B01D 39/14 B , B65G 1/00 521 D , H01L 21/30 516 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

局所空間の汚染防止方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-031230 出願人：株式会社荏原製作所
特開平4-022118
光触媒反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-113119 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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