特許

J-GLOBAL ID：200903059269382619

感光性樹脂組成物塗布性向上剤及びそれを含有する感光性樹脂組成物

発明者： 渡部 順一郎 ,  武田 貴志
出願人/特許権者： クラリアント ジャパン 株式会社
代理人 (2件)： 鐘尾 宏紀 ,  野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-341331
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177513
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】大型基板に感光性樹脂組成物を塗布する際に発生するうろこ状の塗布ムラ及び基板端部の盛り上がり(ビード)の問題を同時に改善する。【解決手段】ノボラック樹脂などのアルカリ可溶性樹脂及びナフトキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物に、下記一般式で表されるシリコーンオイルを感光性樹脂組成物の全固形分に対して50〜5,000ppm含有せしめる。【化】(式中、R1、R2、R3、R4、R5及びR6は、各々独立して、水素原子、ヒドロキシル基、炭素数1〜4のアルキル基、またはアリール基を表し、mは1〜40、nは1〜40の整数を示す。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表されるポリ(ジメチルシロキサン-ジフェニルシロキサン)共重合体シリコーンオイルからなる感光性樹脂組成物塗布性向上剤。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  C08G77/04 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/004 501 ,  C08G77/04 ,  H01L21/30 502R

Fターム (20件)：

2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB29 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J035BA02 ,  4J035CA01K ,  4J035CA02K ,  4J035CA022 ,  4J035CA05K ,  4J035CA052 ,  4J035EA01 ,  4J035LA02 ,  4J035LB16

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-170392
  
• 正帯電用有機光導電体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-026165   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• カラーフィルター用硬化性樹脂溶液組成物、透明保護膜、カラーフィルターおよび液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-286883   出願人：東レ株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-068674   出願人：住友化学工業株式会社
• 難燃性の感光性ドライフィルムレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-325927   出願人：鐘淵化学工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• シリコーン ハンドブック, 19900831, 第112-113頁、第153頁5.4.8