特許
J-GLOBAL ID：200903013664102838

難燃性の感光性ドライフィルムレジスト

発明者：
高河原 薫

高河原 薫 について

, 
岡田 好史

岡田 好史 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-325927
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131371
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】可溶性ポリイミドと(メタ)アクリル系化合物を主成分とする感光性ドライフィルムレジストは、ドライフィルムタイプであるために作業性が良く、アルカリ水溶液で現像が可能であるが、難燃性や自己消火性に問題があり、また、ポリイミドフィルムとの積層状態で硬化後に反りが発生しやすいという問題があった。【解決手段】炭素間二重結合基を末端に有するイミド単位を少なくとも1個含む可溶性ポリイミドと、リンおよび/またはハロゲンおよび/またはシロキサン部位を含有する化合物、(メタ)アクリル系化合物を主成分とし、光反応開始剤および/または増感剤を必須成分とする感光性樹脂組成物を用いることにより、作業性が良好でかつアルカリ水溶液で現像が可能であり、かつ硬化後のフィルムが難燃性規格UL94V-0を満たすことを特徴とする感光性ドライフィルムレジストを提供することができる。
請求項（抜粋）：
(A)一般式(1):化1で示される構成単位を少なくとも1個含む可溶性ポリイミド【化1】(但し、式中、R1は4価の有機基を、R2は芳香環を有する3価または4価の有機基を、XおよびYは1価の有機基であって、X、Yの少なくとも一方は、R3-CH=CH2(R3は2価の有機基を表す)である)、(B)リン、ハロゲン及びシロキサン部位からなる群から選ばれる少なくとも1種の原子または部位が共有結合している化合物、(C)炭素間二重結合を1個以上有する(メタ)アクリル系化合物を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/027 514 ,  C08F290/14 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G11B 5/60 ,  G11B 21/21 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/28
FI (9件)：
G03F 7/027 514 ,  C08F290/14 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G11B 5/60 P ,  G11B 21/21 C ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/28 F
Fターム (91件)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025CA00 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J027AD04 ,  4J027AD06 ,  4J027BA12 ,  4J027BA18 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA24 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027BA27 ,  4J027BA28 ,  4J027CA10 ,  4J027CA23 ,  4J027CA27 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PC036 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB03 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA052 ,  4J043UA082 ,  4J043UA122 ,  4J043UA132 ,  4J043UA142 ,  4J043UA152 ,  4J043UA262 ,  4J043UA622 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB122 ,  4J043UB132 ,  4J043UB152 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043UB352 ,  4J043UB382 ,  4J043UB401 ,  4J043WA09 ,  4J043WA16 ,  4J043XA15 ,  4J043XA16 ,  4J043XA17 ,  4J043XA18 ,  4J043XA19 ,  4J043YB06 ,  4J043YB19 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB60 ,  5D042NA01 ,  5D042TA06 ,  5D059AA01 ,  5D059BA01 ,  5D059CA30 ,  5D059DA33 ,  5D059DA36 ,  5D059EA08 ,  5E314AA36 ,  5E314AA41 ,  5E314AA42 ,  5E314AA49 ,  5E314GG08
引用特許：
審査官引用 (8件)
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