特許
J-GLOBAL ID：200903059300553516
枚葉式洗浄装置および洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-356370
公開番号（公開出願番号）：特開2006-165372
出願日： 2004年12月09日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】高温の薬液を用いる枚葉式洗浄装置において、大口径基板の処理効率の面内均一性の向上を図る。【解決手段】枚葉式洗浄装置において、被処理基板を洗浄処理するための薬液処理チャンバーと、被処理基板に高温の薬液を供給する薬液供給手段と、薬液処理チャンバー内にガスを導入するための配管と、配管内のガスを暖めるためのヒーターを備える。 用いる薬液と同程度の温度に加熱したガスを導入した薬液処理チャンバーにて、被処理基板を昇温し、洗浄を行うことで、被処理基板上の外周部における薬液の温度低下を防ぎ、大口径基板の処理効率の面内均一性の向上を図る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理基板を洗浄処理するための薬液処理チャンバーと、前記被処理基板に高温の薬液を供給する薬液供給手段と、前記薬液処理チャンバー内にガスを導入するための第一の配管と、前記第一の配管には、前記ガスを暖めるための第一のヒーターとを備えたことを特徴とする枚葉式洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304
, H01L 21/306
H01L21/304 643A
, H01L21/304 651B
, H01L21/306 R
