特許
J-GLOBAL ID:200903059300808042
弾性表面波素子および通信装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-311245
公開番号(公開出願番号):特開2006-128809
出願日: 2004年10月26日
公開日(公表日): 2006年05月18日
要約:
【課題】 圧電基板の他方主面に導体層が形成された弾性表面波素子をフェースダウン実装した弾性表面波装置の通過帯域外減衰量を改善する。 【解決手段】 圧電基板2の一方主面に励振電極3と入力パッド部と出力パッド部とを具備するフィルタ領域が形成され、他方主面に半導体層22が形成された弾性表面波素子1を、実装用基体上に一方主面を対面させて実装している弾性表面波装置である。弾性表面波素子1の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために圧電基板2の他方主面に設けられていた導体層に代えて、キャリア移動度の小さい半導体層2を形成したことによって、フィルタ領域の入力パッド部および出力パッド部間に形成されていた寄生容量による入力パッド部および出力パッド部間の結合量を大幅に小さくすることができ、これにより、通過帯域外減衰量を改善することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電基板の一方主面に励振電極と入力パッド部と出力パッド部とを具備するフィルタ領域が形成され、他方主面に半導体層が形成されていることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件):
H03H 9/25
, H01L 41/09
, H01L 41/18
FI (5件):
H03H9/25 A
, H03H9/25 C
, H01L41/08 U
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
Fターム (18件):
5J097AA16
, 5J097AA27
, 5J097BB11
, 5J097DD20
, 5J097DD24
, 5J097EE08
, 5J097FF01
, 5J097FF05
, 5J097FF07
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097JJ04
, 5J097JJ09
, 5J097KK04
, 5J097KK09
, 5J097KK10
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特開平4-313906号公報
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弾性表面波装置および通信装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-247510
出願人:京セラ株式会社
-
弾性表面波装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-278087
出願人:京セラ株式会社
-
表面弾性波素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-071586
出願人:松下電器産業株式会社
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審査官引用 (3件)
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弾性表面波装置および通信装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-247510
出願人:京セラ株式会社
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弾性表面波装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-278087
出願人:京セラ株式会社
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表面弾性波素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-071586
出願人:松下電器産業株式会社
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