弾性表面波装置および通信装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-247510
公開番号（公開出願番号）：特開2006-067258
出願日： 2004年08月26日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：

【課題】送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子を用いた弾性表面波装置ではアイソレーション特性が悪かった。【解決手段】弾性表面波装置の弾性表面波素子1において、従来、圧電基板2の励振電極3形成面とは異なる他方主面の全面に、弾性表面波素子1の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために設けていた導体層を、キャリア移動度の小さい半導体層22に代えることにより、送信側フィルタ領域12の入力パッドおよび受信側フィルタ領域13の出力パッドとの間に形成されていた寄生容量を低減することができる。これにより、アイソレーション特性を改善することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電基板の一方主面にそれぞれ励振電極と入力パッド部と出力パッド部とを具備する送信側フィルタ領域および受信側フィルタ領域が形成されているとともに、他方主面に半導体層が形成された弾性表面波素子を、実装用基体上に前記一方主面を対面させて実装していることを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (6件)：

H03H 9/25 , H03H 9/145 , H03H 9/72 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/25 A , H03H9/25 C , H03H9/145 D , H03H9/72 , H01L41/08 L , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z

Fターム (13件)：

5J097AA10 , 5J097AA27 , 5J097BB15 , 5J097DD20 , 5J097FF01 , 5J097FF03 , 5J097FF07 , 5J097GG03 , 5J097GG04 , 5J097KK01 , 5J097KK08 , 5J097KK09 , 5J097KK10

引用特許：

出願人引用 (8件)

表面弾性波素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-268542 出願人：富士通株式会社
国際公開第99/54995号パンフレット
弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-278087 出願人：京セラ株式会社

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審査官引用 (6件)

弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-278087 出願人：京セラ株式会社
弾性表面波装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-263254 出願人：松下電器産業株式会社
弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-066998 出願人：株式会社村田製作所

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