縦型熱処理装置及び縦型熱処理用基板保持具固定部材

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-253410
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261035
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】待機中及び反応管内にロード・アンロード中はもちろん、反応管内での処理中も、基板保持具の転倒を防ぐことができる縦型熱処理装置及び縦型熱処理用基板保持具固定部材を提供する。【解決手段】縦型熱処理装置1において、保温筒40の天板41の凸状孔部47及び溝48にウエハボート30の底板32の凸部35及び突起36をそれぞれ嵌合させる。次に、ウエハボート30の底板32側から雄ねじ部材51を保温筒40の支柱43間に略水平に挿入された保温筒挿入部材53の雄ねじ部材挿入孔58に挿入する。さらに雄ねじ部材挿入孔58に挿入された雄ねじ部材51を雌ねじ部材52に挿入して、雄ねじ部材51を雌ねじ部材52に螺合させる。この螺合によりウエハボート30と保温筒40とが着脱可能に固定される。

請求項（抜粋）：

反応管と、前記反応管の周囲に配設された加熱手段と、前記反応管内に収容可能であり、かつ天板及び底板を備えた、基板を保持する基板保持具と、前記反応管内に前記基板保持具を出し入れする昇降可能な蓋体と、前記蓋体上に設置され、前記基板保持具を載置する保温筒と、前記基板保持具の底板と前記保温筒とを固定する着脱可能な基板保持具固定部材と、を具備することを特徴とする縦型熱処理装置。

IPC (7件)：

H01L 21/22 511 , C23C 16/44 , C23C 16/46 , F27B 5/06 , F27D 5/00 , H01L 21/205 , H01L 21/68

FI (7件)：

H01L 21/22 511 Q , C23C 16/44 B , C23C 16/46 , F27B 5/06 , F27D 5/00 , H01L 21/205 , H01L 21/68 N

Fターム (28件)：

4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030DA09 , 4K030FA10 , 4K030GA02 , 4K030KA04 , 4K030KA46 , 4K030LA15 , 4K055AA06 , 4K055NA05 , 4K061AA01 , 4K061AA05 , 4K061BA11 , 4K061CA00 , 5F031CA02 , 5F031HA64 , 5F031HA67 , 5F031MA17 , 5F031PA07 , 5F031PA08 , 5F031PA20 , 5F045BB08 , 5F045BB20 , 5F045DP19 , 5F045EB02 , 5F045EC02 , 5F045EK21 , 5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (2件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-231124 出願人：ソニー株式会社
縦型基板熱処理装置用基板ボートの支持構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-056885 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

前のページに戻る