特許
J-GLOBAL ID：200903059352509442

シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボとその引上方法

発明者：
辻元 俊夫

辻元 俊夫 について

, 
福井 正徳

福井 正徳 について


出願人/特許権者：
ジャパンスーパークォーツ株式会社

ジャパンスーパークォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-153925
公開番号（公開出願番号）：特開2004-352580
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボについて、湯面位置が変動しないルツボとその引上方法を提供する。【解決手段】ルツボ内表面直下の透明層とルツボ外表面側の気泡層とを有するシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボにおいて、上記気泡層の気泡含有率が0.4%以下であり、さらにルツボ外表面に石英ガラス微粉末層を有することを特徴とし、好ましくは、石英ガラス微粉末層が1mg/cm2以上の密度であって10μm以上の層厚し、粒径10μm未満の石英ガラス微粒子を20wt%以上と、粒径10μm以上〜150μm以下の石英ガラス粗粒子とを含む石英ガラスルツボ。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
ルツボ内表面直下の透明層とルツボ外表面側の気泡層とを有するシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボにおいて、上記気泡層の気泡含有率が0.4%以下であり、さらにルツボ外表面に石英ガラス微粉末層を有することを特徴とする石英ガラスルツボ。
IPC (3件)：
C03B20/00 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06
FI (3件)：
C03B20/00 H ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 502B
Fターム (6件)：
4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077PD01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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