ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-114119
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297613
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】縦型ステージの動特性を改善する。【解決手段】ウエハ等を保持するXステージ30を支持するYステージ20はYリニアモータ40によってY軸方向(鉛直方向)に駆動される。Yステージ20は、ベルト62によって自重補償用のカウンターマス61に連結され、Yステージ20とベルト62の間は、ベロフラムやエアーシリンダ等のアクチュエータ70を介して結合されている。Xステージ30の位置情報に基づいてアクチュエータ70を制御することで回転モーメントを補正し、Yガイド11にかかる負荷を低減するとともに、アクチュエータ70の除振性を利用してベルト62からYステージ20に伝播する振動を除去する。

請求項（抜粋）：

基準面に沿って鉛直またはこれに近似する方向に移動自在であるワークステージと、該ワークステージの重さにバランスするカウンターマスと、該カウンターマスを前記ワークステージに連結する複数の連結部材と、各連結部材を巻回支持する滑車と、各連結部材から前記ワークステージに伝播する振動を除去するための除振手段を有するステージ装置。

IPC (7件)：

H01L 21/027 , B23B 47/26 , B23Q 1/25 , B23Q 11/00 , G03F 7/20 503 , G05D 3/00 , H01L 21/68

FI (9件)：

H01L 21/30 531 A , B23B 47/26 , B23Q 11/00 A , G03F 7/20 503 , G05D 3/00 Z , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 F , H01L 21/30 515 G , B23Q 1/14 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-181522
移動ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-077559 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-025109

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