特許
J-GLOBAL ID：200903059617224429
画像表示装置用金属隔壁の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田邊 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-146413
公開番号（公開出願番号）：特開2003-342733
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 開口率が高く高性能で、絶縁信頼性が高く、安価な画像表示装置用金属隔壁を提供するために有効な絶縁処理プロセスを提供すること。【解決手段】 本画像表示装置用金属隔壁の製造方法は、多数の貫通孔を有する金属隔壁用基板に、金属元素含有有機物を気化させた常圧プラズマ化学気相成長法によって絶縁層を形成するものであり、絶縁層として酸化物や窒化物や酸窒化物等を採用でき、このうちAl2O3、SiO2、ZrO2、MgO、TiO2のうちの少なくとも一種の酸化物が好ましく、更には、絶縁層の厚みを0.5μm〜10μmとしたものが好ましい。
請求項（抜粋）：
多数の貫通孔を有する金属隔壁用基板に、金属化合物を気化させた常圧プラズマ化学気相成長法によって絶縁層を形成することを特徴とする画像表示装置用金属隔壁の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 16/40
, C23C 16/18
, H01J 9/02
, H01J 11/02
C23C 16/40
, C23C 16/18
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
4K030AA11
, 4K030AA18
, 4K030BA01
, 4K030BA22
, 4K030BA42
, 4K030BA43
, 4K030BA44
, 4K030BA46
, 4K030CA02
, 4K030CA12
, 4K030CA17
, 4K030FA01
, 4K030JA01
, 4K030JA09
, 4K030JA12
, 4K030LA02
, 4K030LA11
, 5C027AA09
, 5C027AA10
, 5C040FA10
, 5C040GF06
, 5C040GF13
, 5C040GF18
, 5C040GF19
, 5C040JA07
, 5C040KA02
, 5C040KB19
, 5C040KB28
, 5C040MA23
, 5C040MA26
