特許
J-GLOBAL ID：200903059620956236
基板をインプリントおよび/または型押しするための装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-101713
公開番号（公開出願番号）：特開2008-270798
出願日： 2008年04月09日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】基板(7)、特に半導体基板またはウェーハをインプリントおよび/または型押しするための装置であって、 -作業空間(13)内で基板(7)を収容するための収容ユニット(5)と、 -基板(7)を、型押し用および/または印刷用パンチ(10)に対して調整するための調整装置(2,3,4)とを有する装置を提供すること。【解決手段】可能な限り汚染のないプロセスとなるように、また可能な限り好都合な装置を製作することができるように、収容ユニット(5)が、環境から作業空間(13)を分離させるように設計されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板(7)、特に半導体基板またはウェーハをインプリントおよび/または型押しするための装置であって、
作業空間(13)内で前記基板(7)を収容するための収容ユニット(5)と、
前記基板(7)を、型押し用および/または印刷用パンチ(10)に対して調整するための調整装置(2,3,4)と
を有し、
前記収容ユニット(5)が、環境から前記作業空間(13)を分離させるように設計されていることを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, G03F7/20 521
5F046AA28
, 5F046CC01
, 5F046DA27
