特許
J-GLOBAL ID：200903059623488640

青紫レーザー感光性組成物、青紫レーザー用画像形成材料及び青紫レーザー用画像形成材

発明者：
亀山 泰弘

亀山 泰弘 について


出願人/特許権者：
日本合成化学工業株式会社

日本合成化学工業株式会社 について


代理人 (2件)： 重野 剛 ,  長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-113799
公開番号（公開出願番号）：特開2006-293024
出願日： 2005年04月11日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 レジスト画像形成のために用いた場合において、青紫レーザー光に対する感度、及び現像性に優れると共に、レジスト加工後のレジスト画像の剥離、除去が容易であり、ドライフィルム材としてロール状の形態で保管してもエッジフュージョンが起こらない青紫レーザー感光性組成物を提供する。【解決手段】 下記の(A)成分、(B)成分、(C)成分、及び(D)成分を含有してなることを特徴とする青紫レーザー感光性組成物。 (A)下記一般式(I)で表される(メタ)アクリレート類を共重合成分として含有するアルカリ可溶性樹脂 (B)エチレン性不飽和化合物 (C)光重合開始剤 (D)355〜430nmの波長域に吸収極大を有する増感色素(一般式(I)において、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2は3級炭素原子及び/又は4級炭素原子を含有する飽和または不飽和の炭化水素基を表す。)【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記の(A)成分、(B)成分、(C)成分、及び(D)成分を含有してなることを特徴とする青紫レーザー感光性組成物。 (A)下記一般式(I)で表される(メタ)アクリレート類を共重合成分として含有するアルカリ可溶性樹脂 (B)エチレン性不飽和化合物 (C)光重合開始剤 (D)355〜430nmの波長域に吸収極大を有する増感色素
IPC (6件)：
G03F 7/033 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F7/033 ,  C08F2/44 B ,  C08F2/44 C ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  H01L21/30 502R
Fターム (29件)：
2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC83 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  4J011PA43 ,  4J011PA69 ,  4J011PB25 ,  4J011PB38 ,  4J011QA04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA14 ,  4J011QA21 ,  4J011QA23 ,  4J011SA78
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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