特許
J-GLOBAL ID：200903099691102884

青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法

発明者：
浦野 年由

浦野 年由 について

, 
亀山 泰弘

亀山 泰弘 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-203866
公開番号（公開出願番号）：特開2004-199031
出願日： 2003年07月30日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】青紫色領域のレーザー光に対して高感度であると共に、黄色灯下でのセーフライト性に優れ、更に膜厚を上げても感度が低下しない青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及びそのレジスト画像形成方法を提供する。【解決手段】被加工基板上に青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材であって、該レジスト材層の膜厚が10μm以上であり該感光性レジスト材層の露光波長における吸光度が膜厚1μm当たり0.3以下であることを特徴とする画像形成材。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
被加工基板上に青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材であって、該レジスト材層の膜厚が10μm以上であり該感光性レジスト材層の露光波長における吸光度が膜厚1μm当たり0.3以下であることを特徴とする画像形成材。
IPC (5件)：
G03F7/028 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/26 ,  H05K3/00
FI (6件)：
G03F7/028 ,  G03F7/038 505 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/26 501 ,  H05K3/00 F
Fターム (27件)：
2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA39 ,  2H025CA41 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096EA04 ,  2H096FA00 ,  2H096GA08 ,  2H096LA17
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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