電子部品用材料およびその使用方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺喜平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106783
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298352
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】優れた保存安定性や光硬化性を示す電子部品用材料およびその使用方法を提供する。【解決手段】下記(A)〜(C)成分を含有することを特徴とする電子部品用材料およびその使用方法。(A)一般式(1)で示される加水分解性シラン化合物およびその加水分解物あるいはいずれか一方の化合物(R1)PSi(X)4-P (1)[一般式(1)中、R1は炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、およびpは0〜3の整数である。](B)光酸発生剤(C)脱水剤

請求項（抜粋）：

下記(A)〜(C)成分を含有することを特徴とする電子部品用材料。(A)一般式(1)で示される加水分解性シラン化合物およびその加水分解物あるいはいずれか一方の化合物(R1)PSi(X)4-P (1)[一般式(1)中、R1は炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、およびpは0〜3の整数である。](B)光酸発生剤(C)脱水剤

IPC (7件)：

G03F 7/075 511 , G02F 1/1339 505 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027 , H05K 3/00 , H05K 3/06 , H05K 3/28

FI (7件)：

G03F 7/075 511 , G02F 1/1339 505 , G03F 7/004 501 , H05K 3/00 F , H05K 3/06 H , H05K 3/28 D , H01L 21/30 502 R

Fターム (62件)：

2H025AA00 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BJ00 , 2H025BJ06 , 2H025CB33 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA14 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H089MA04Y , 2H089MA05Y , 2H089MA07Y , 2H089NA44 , 2H089PA16 , 2H089QA06 , 2H089QA07 , 2H089TA07 , 5E314AA27 , 5E314AA31 , 5E314AA32 , 5E314AA36 , 5E314AA41 , 5E314AA42 , 5E314BB13 , 5E314CC02 , 5E314CC07 , 5E314CC17 , 5E314DD06 , 5E314FF01 , 5E314FF06 , 5E314FF19 , 5E314FF21 , 5E314GG03 , 5E314GG08 , 5E314GG11 , 5E314GG26 , 5E339AA01 , 5E339AA02 , 5E339AB01 , 5E339AB05 , 5E339BC02 , 5E339BD02 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE14 , 5E339CE17 , 5E339CF16 , 5E339DD02 , 5E339DD04

引用特許：

審査官引用 (7件)

ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-218700 出願人：日本電信電話株式会社
光硬化性コ-ティング組成物及びそれを用いる硬化皮膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-134702 出願人：大阪市, ハニー化成株式会社
造膜用組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-101291 出願人：日本合成化学工業株式会社, 三菱化学株式会社

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