特許
J-GLOBAL ID：200903059632515588

感放射線性樹脂組成物

発明者：
島 基之

島 基之 について

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榊原 宏和

榊原 宏和 について

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西村 功

西村 功 について

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西村 幸生

西村 幸生 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-144620
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337416
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：
【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、特に現像欠陥が極めて少なく、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)ビス(4-t-ブチルフェニル)ヨードニウム2-(ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2-イル)-1,1,2,2-テトラフルオロエタンスルホネート、N-〔2-(ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2-イル)-1,1,2,2-テトラフルオロエタンスルホニルオキシ〕ビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシイミド等に代表される感放射線性酸発生剤、並びに(B)ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン-5-カルボン酸t-ブチルおよび/または(メタ)アクリル酸2-メチルアダマンタン-2-イルに由来する繰り返し単位を有する樹脂に代表される酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)放射線の照射により、下記一般式(1)で表される酸を発生する感放射線性酸発生剤、並びに(B)下記一般式(2-1)で表される繰り返し単位および下記一般式(2-2)で表される繰り返し単位の群から選ばれる少なくとも1種を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、X1 およびX2 は相互に独立に水素原子、フッ素原子、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示し、iは0〜5の整数であり、R1 は1価の置換基を示し、jは0以上の整数であり、mは0〜2の整数である。〕【化2】〔一般式(2-1)において、R2 は1価の基を示し、nは0〜2の整数である。一般式(2-2)において、R3 は水素原子、メチル基、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のヒドロキシアルキル基、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基等を示し、R4 は水素原子または1価の有機基を示す。〕
IPC (3件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (18件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (5件)
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