特許
J-GLOBAL ID：200903057320259417

感放射線性樹脂組成物

発明者：
田辺 隆喜

田辺 隆喜 について

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大田 芳久

大田 芳久 について

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王 勇

王 勇 について

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岩永 伸一郎

岩永 伸一郎 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201015
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030856
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 各種のレジスト用溶剤を使用することができ、特に解像度、パターン形状が優れるとともに、スカムを生じることがない化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)酸により分解しうる置換基を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する重合体、および(B)下記式(1)で表される感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔式(1)において、R1 は炭素数1〜6のアルキル基またはフェニル基を示し、3個のR1 は相互に同一でも異なってもよく、R2 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜10のアラルキル基または炭素数4〜12の脂環式骨格を有する基を示す。)
請求項（抜粋）：
(A)酸により分解しうる置換基を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する重合体、および(B)下記式(1)で表される感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は炭素数1〜6のアルキル基またはフェニル基を示し、3個のR1 は相互に同一でも異なってもよく、R2 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜10のアラルキル基または炭素数4〜12の脂環式骨格を有する基を示す。)
IPC (4件)：
G03F 7/004 503 ,  C09D201/00 ,  C09K 3/00 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/004 503 A ,  C09D201/00 ,  C09K 3/00 K ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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