特許
J-GLOBAL ID:200903059641897442
サファイア基板上超電導酸化物多層薄膜及びその作製方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-322439
公開番号(公開出願番号):特開2008-140789
出願日: 2006年11月29日
公開日(公表日): 2008年06月19日
要約:
【課題】高臨界電流密度であり、かつ、クラックの生じない高温超電導酸化物(RE)Ba2Cu3O7 (RE = Y, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Yb)(以下 (RE)BCO 薄膜と略称)の薄膜及びその作製方法を提供する。【解決手段】バッファ層を有するサファイア単結晶基板のバッファ層上に、1%以上の空孔を導入した高温超電導酸化物 (RE)BCO 薄膜を、間に (RE)BCO 薄膜とは異なるRE’を選んだ (RE’)Ba2Cu3O7の中間層薄膜を介して設けた多層構造の(RE)BCO 薄膜及びその製造方法。【選択図】図3
請求項(抜粋):
バッファ層を有するサファイア単結晶基板のバッファ層上に、1%以上の空孔を導入した高温超電導酸化物 (RE)Ba2Cu3O7 (RE = Y, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er, Yb) 薄膜(以下 (RE)BCO 薄膜と略称)を、間に (RE)BCO 薄膜とは異なるRE’を選んだ(RE’)Ba2Cu3O7の中間層薄膜を介して設けた多層構造の(RE)BCO 薄膜。
IPC (8件):
H01L 39/24
, H01B 12/06
, H01B 13/00
, C30B 29/22
, C30B 23/08
, C23C 14/08
, C01G 1/00
, B32B 18/00
FI (8件):
H01L39/24 D
, H01B12/06
, H01B13/00 565D
, C30B29/22 501M
, C30B23/08 Z
, C23C14/08 K
, C01G1/00 S
, B32B18/00 A
Fターム (47件):
4F100AA17C
, 4F100AC10E
, 4F100BA04
, 4F100BA05
, 4F100GB41
, 4F100JG02A
, 4F100JG02B
, 4F100JG02C
, 4F100JK11D
, 4G047JA04
, 4G047JC02
, 4G047KF04
, 4G047KG05
, 4G077AA07
, 4G077AB10
, 4G077BC53
, 4G077DA03
, 4G077ED06
, 4G077EF01
, 4G077EF02
, 4G077EH01
, 4G077FE03
, 4G077GA10
, 4G077HA08
, 4G077SB10
, 4K029AA04
, 4K029BA43
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BC04
, 4K029CA01
, 4K029DB05
, 4K029DB20
, 4K029FA06
, 4M113AD35
, 4M113AD36
, 4M113BA04
, 4M113CA34
, 5G321AA02
, 5G321AA04
, 5G321BA04
, 5G321CA03
, 5G321CA05
, 5G321CA21
, 5G321CA24
, 5G321CA27
, 5G321DB37
引用特許: