マイクロマシン、マイクロアクチュエータ及びマイクロリレー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333889
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164105
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】消費電力が少なく、ラッチング構造を簡単かつ確実に得る。【解決手段】所定間隔で設けた支持部14に架設され、2つの位置に座屈変形してその形状を保持する座屈部15を設ける。

請求項（抜粋）：

所定間隔で設けた支持部に架設され、2つの位置に座屈変形してその形状を保持する座屈部を備えたことを特徴とするマイクロマシン。

IPC (2件)：

H01H 59/00 , B62D 57/00

FI (2件)：

H01H 59/00 , B62D 57/00 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

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