進行波形光変調器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-058083
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169133
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】電極を伝搬するマイクロ波と光導波路を伝搬する光との間の速度整合を達成しつつ、駆動電圧Vπと電極の長さLとの積(Vπ・L)が小さく、かつ光の結合損失の小さい進行波形光変調器を提供する。【解決手段】進行波形光変調器1は、相対向する表面3aと底面3bとを備える電気光学材料からなる基板3、基板3の表面3a上に形成された光導波路6A、6B、および基板の表面上に形成され、光導波路内を伝搬する光を変調するための電極2A-2Cを備える。少なくとも光導波路の領域において基板の底面から凹んでいる凹部4が設けられている。基板3が、底面3bが設けられている厚肉部分3d、凹部に面する第一の薄肉部分3f、および凹部に面する第二の薄肉部分3eを備える。第一の薄肉部分3f内に光導波路が設けられている。第一の薄肉部分3fが第二の薄肉部分3eよりも厚い。

請求項（抜粋）：

相対向する表面と底面とを備えている電気光学材料からなる基板、この基板の前記表面側に形成されている光導波路、および前記基板の前記表面上に形成されており、前記光導波路内を伝搬する光を変調するための電極を備えている進行波形光変調器であって、少なくとも前記光導波路の領域において前記基板の前記底面から凹んでいる凹部が設けられており、前記基板が、前記底面が設けられている厚肉部分、前記凹部に面する第一の薄肉部分および前記凹部に面する第二の薄肉部分を備えており、前記第一の薄肉部分内に前記光導波路が設けられており、前記第一の薄肉部分が前記第二の薄肉部分よりも厚いことを特徴とする、進行波形光変調器。

Fターム (11件)：

2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079CA04 , 2H079DA03 , 2H079EA05 , 2H079EB04 , 2H079HA12 , 2H079JA01 , 2H079JA05 , 2H079KA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

導波路形光デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-041460 出願人：日本電気株式会社
光導波路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-249700 出願人：日本碍子株式会社
光導波路デバイス、進行波形光変調器および光導波路デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-085579 出願人：日本碍子株式会社

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