特許
J-GLOBAL ID：200903059674003536
蒸気洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150845
公開番号（公開出願番号）：特開2004-356285
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】装置全体の小型化を図るとともに、液体を効率よく蒸気化するようにしてエネルギー消費量を低減する。【解決手段】蒸気を発生させてノズルまで移送し、上記ノズルの吐出口から蒸気流を噴射して被洗浄物を洗浄する蒸気洗浄装置において、熱伝導率が大きい材料よりなるとともに両端を外部と連通可能に形成された連通孔を有するブロックと、上記ブロックを加熱する加熱手段とを有し、上記加熱手段により上記ブロックを加熱するとともに上記貫通孔内に液体を投入し、上記貫通孔内に投入された液体を蒸気化して蒸気を生成するようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
蒸気を発生させてノズルまで移送し、前記ノズルの吐出口から蒸気流を噴射して被洗浄物を洗浄する蒸気洗浄装置において、
熱伝導率が大きい材料よりなるとともに両端を外部と連通可能に形成された連通孔を有するブロックと、
前記ブロックを加熱する加熱手段と
を有し、
前記加熱手段により前記ブロックを加熱するとともに前記貫通孔内に液体を投入し、前記貫通孔内に投入された液体を蒸気化して蒸気を発生する
ことを特徴とする蒸気洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L21/304
, B08B3/02
, C23G3/00
H01L21/304 645B
, B08B3/02 A
, C23G3/00 Z
3B201AA02
, 3B201AA03
, 3B201AA46
, 3B201AB01
, 3B201BB21
, 3B201BB36
, 3B201BB38
, 3B201BB82
, 3B201BB92
, 3B201CD43
, 4K053PA17
, 4K053QA04
, 4K053QA07
, 4K053RA02
, 4K053RA04
, 4K053RA13
, 4K053RA15
, 4K053RA17
, 4K053RA18
, 4K053RA21
, 4K053RA32
, 4K053RA40
, 4K053RA46
, 4K053RA64
, 4K053SA04
, 4K053TA20
, 4K053XA11
, 4K053XA13
, 4K053XA22
