特許
J-GLOBAL ID：200903059674290470

熱圧着ユニット

発明者：
宇田川 利幸

宇田川 利幸 について


出願人/特許権者：
大崎エンジニアリング株式会社

大崎エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 窪田 卓美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-041660
公開番号（公開出願番号）：特開2001-225200
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：
【要約】【課題】 押圧力を精密に微調整してIC装置などのバンプを低圧力領域で熱圧着する熱圧着ユニットを提供する。【解決手段】 熱圧着ユニットは、推力設定可能な電磁式リニア駆動部11と、電磁式リニア駆動部11の出力軸12により駆動されるロッド13と、断熱体14を介してロッド13によって駆動される熱圧着部16を備え、ロッド13は微小な間隙をもって取り囲むガイド体17にガイドされて駆動する。そしてロッド13とガイド体17の間隙gに潤滑用気体が流れ、その潤滑用気体はガイド体17の下端部から排出されて断熱体14を冷却する。
請求項（抜粋）：
推力設定可能な電磁式リニア駆動部11と、電磁式リニア駆動部11によって駆動されるロッド13と、ロッド13によって駆動される熱圧着部16と、ロッド13を微小な間隙をもって取り囲む筒状のガイド体17とを備え、ロッド13とガイド体17の間隙gに潤滑用気体を流通させるように構成した熱圧着ユニット。
IPC (4件)：
B30B 15/34 ,  B30B 1/42 ,  B30B 15/00 ,  H01L 21/603
FI (4件)：
B30B 15/34 Z ,  B30B 1/42 ,  B30B 15/00 F ,  H01L 21/603 C
Fターム (14件)：
4E088BA01 ,  4E088BB01 ,  4E088FA10 ,  4E090AA01 ,  4E090AB01 ,  4E090BA03 ,  4E090DA01 ,  4E090DA03 ,  4E090DA04 ,  4E090DA07 ,  4E090DA08 ,  5F044LL09 ,  5F044PP16 ,  5F044PP19
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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