特許
J-GLOBAL ID:200903059706983716

表面欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-166349
公開番号(公開出願番号):特開平10-009837
出願日: 1996年06月26日
公開日(公表日): 1998年01月16日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 被検査面が複雑な曲面であっても、塗装欠陥の発生を早期に防止できる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体であるボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段1と、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置CCDカメラ3が取り付けられた撮像装置固定手段2と、受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処理手段4と、検査処理手段からの欠陥検出情報と被塗装面情報により統計処理する欠陥数統計処理手段11と、欠陥数統計処理手段から欠陥の発生源を推定する欠陥発生源推定手段12を備え、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部にボディを通過させて検査処理手段による被検査面の欠陥検査と欠陥発生源推定手段による欠陥発生源の推定を行う。
請求項(抜粋):
被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処理手段と、検査処理手段からの欠陥検出情報と被塗装面情報により統計処理する欠陥数統計処理手段と、欠陥数統計処理手段からの欠陥統計処理結果と経験的な欠陥不具合情報に基づいて欠陥の発生源を推定する欠陥発生源推定手段を備え、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査と欠陥発生源の推定を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (5件):
G01B 11/30 ,  G01N 21/55 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00
FI (5件):
G01B 11/30 E ,  G01N 21/55 ,  G01N 21/88 Z ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 C
引用特許:
審査官引用 (9件)
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