特許
J-GLOBAL ID:200903059716328090

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-223388
公開番号(公開出願番号):特開2001-050842
出願日: 1999年08月06日
公開日(公表日): 2001年02月23日
要約:
【要約】【課題】 圧力測定部における側面部と底面部とを一体にして強固にするという必要はなく、コスト的にも安価に得られ、かつ出力感度の高い圧力センサを提供することを目的とする。【解決手段】 圧力測定部26、受圧基板30および蓋41を内包するように相手側圧力導入管42を嵌合部21に嵌合させるとともに、圧力測定部26における受圧基板30で被圧力検出物質43の圧力を検出するように構成したものである。
請求項(抜粋):
端子を突出するように設けた円柱状の嵌合部と、受圧基板設置部と開口部を有し、かつ内部に空間部を設けた圧力測定部と、この圧力測定部における受圧基板設置部に位置して設けられるとともに、少なくとも一対の圧力検出素子、この圧力検出素子と電気的に接続される電源電極、GND電極および出力電極とを有する受圧基板と、前記圧力測定部における空間部に設けられ、かつ前記受圧基板における少なくとも一対の圧力検出素子から発生する出力信号を処理して前記端子に出力する処理回路と、前記圧力測定部における開口部を閉塞する蓋とを備え、前記圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するように相手側圧力導入管を前記嵌合部に嵌合させるとともに、前記圧力測定部における受圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出するように構成した圧力センサ。
IPC (3件):
G01L 9/12 ,  G01L 19/14 ,  G01L 23/12
FI (3件):
G01L 9/12 ,  G01L 19/14 ,  G01L 23/12
Fターム (10件):
2F055AA23 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD07 ,  2F055EE12 ,  2F055FF11 ,  2F055FF43 ,  2F055GG25 ,  2F055HH03
引用特許:
審査官引用 (11件)
  • 特開昭62-291534
  • 特開平3-042541
  • 特開平2-138776
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