圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037095
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234976
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】半導体圧力センサチップの小形化することなく圧力センサ全体の小形化を容易に図ることができるようにする。【解決手段】圧力センサ11は取付部12と圧力導入管部13とを一体化して構成されている。圧力導入管部13には凹状の収納部16が形成されており、その収納部16に支持台座18に接合された半導体圧力センサチップ17が配設されている。半導体圧力センサチップ17の下面には圧力導入路19を通じて圧力検出対象の気体或いは液体が導かれており、半導体圧力センサチップ17は検出圧力を出力する。ここで、半導体圧力センサチップ17はその面方向が取付部12の面方向と直交する方向に沿うように圧力導入管部13内に配設されているので、半導体圧力センサチップ17を取付部12の面方向に配設する構成に比較して、取付部12ひいては圧力センサ11の小形化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

取付部と、この取付部に当該取付部の取付面方向と直交する方向に軸方向が沿うように一体化された圧力導入管部と、この圧力導入管部から導入された圧力に応じた圧力信号を出力する半導体圧力センサチップとを備えた圧力センサにおいて、前記半導体圧力センサチップは、そのチップ面の面方向が前記圧力導入管部の軸方向に沿うように前記圧力導入管部内に配設されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/00

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/00 A

Fターム (11件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF49 , 2F055GG12 , 2F055GG25 , 2F055HH03 , 2F055HH05 , 2F055HH11

引用特許：

出願人引用 (6件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-135350 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-146571 出願人：株式会社デンソー
ガス圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-006794 出願人：東京瓦斯株式会社, 株式会社東芝

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審査官引用 (6件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-135350 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-146571 出願人：株式会社デンソー
ガス圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-006794 出願人：東京瓦斯株式会社, 株式会社東芝

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