静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-343342
公開番号（公開出願番号）：特開2004-179364
出願日： 2002年11月27日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】静電チャックにおいて、残留吸着力が大きく、ウェハWを静電チャックから引き剥がす際にウェハが破損する場合があった。また、ウェハWの裏面にパーティクルが多量に発生するという課題があった。【解決手段】板状セラミックス体2の一方の主面にウェハWを保持する載置面3を備え、内部或いは他方の主面に吸着用電極4を備えるとともに、該吸着用電極4が載置面3に対し凸面状となるように形成することにより、吸着用電極4と載置面3間に形成された絶縁層5の厚みが外周部よりも中心部が薄くなるように配置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状セラミックス体の一方の主面にウェハを載せる載置面と、前記板状セラミックス体の内部或いは他方の主面に吸着用電極とを備え、前記吸着用電極と前記載置面間に形成された絶縁層の厚みが外周部よりも中心部が小さいことを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L21/68 , H02N13/00

FI (2件)：

H01L21/68 R , H02N13/00 D

Fターム (12件)：

5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA08 , 5F031HA18 , 5F031HA33 , 5F031HA38 , 5F031HA40 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031NA05 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-073950
特開平1-313954
特開昭60-095931

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