熱圧着ツール

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-214276
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041355
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】圧子の平行度が経時的に変化するのを防止することができる高温用熱圧着ツールを得る。【解決手段】保持具2に対してセラミッシ製の圧子3が非接着固定手段(例えば、ボルトナット4)により装着されている。なお、該圧子3の上端面にヒータ5が装着されているが、ヒータ5は、保持具2の下端面に形成されている凹部8内に位置されている。また、エアー吸引供給兼用孔15等が凹部8に連通せしめられている。従って、ツールの強制冷却を行うことができて該圧子3の下端面3bの平行度が経時的に変化するのを、より有効に防止することができる。

請求項（抜粋）：

ツール本体の下端に装着された保持具と、前記保持具の下端に装着されたセラミック製の圧子と、互いに対向せしめられた前記保持具の下端面と前記圧子の上端面間に配されたヒータとを備え、かつ、前記ヒータが、発熱パターンを電気絶縁材で封止して成る熱圧着ツールにおいて、前記圧子の上端面に装着された前記ヒータを前記保持具の下端面に形成されている凹部内に位置せしめるように前記保持具に対して前記圧子を非接着固定手段により装着したことを特徴とする熱圧着ツール。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 , H01L 21/603

FI (2件)：

H01L 21/60 311 T , H01L 21/603 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

ボンディングツ-ル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-007509 出願人：株式会社東芝
フイルム材の熱圧着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-320878 出願人：共栄制御機器株式会社, 多田栄一
ボンディングヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-176395 出願人：松下電器産業株式会社

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