特許
J-GLOBAL ID：200903059808658437

圧電振動子の製造方法

発明者：
巽 哲夫

巽 哲夫 について

, 
森田 克彦

森田 克彦 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-155673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002741
出願日： 1996年06月17日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】圧電素子をその振動のノードにおいて支持基板に限定的かつ高精度に支持させることのできる支持体をハンダバンプにより形成することにより、自由振動を助長して特性を安定させた圧電振動子の製造方法を提供することである。【解決手段】電極2の形成された圧電素子1aの一つの主面に、この圧電素子1aの支持部に開口3aを有するソルダーレジスト3を形成する工程と、圧電素子1aにおけるソルダーレジスト3の開口3aに位置する電極2の開口部位にハンダバンプ4を形成する工程と、支持基板5の支持電極5aにハンダバンプ4を結合することにより、圧電素子1aを支持基板5に取り付ける工程と、ソルダーレジスト3を除去する工程とを用いて圧電振動子を製造する。
請求項（抜粋）：
電極の形成された圧電素子の一つの主面に、この圧電素子の支持部に開口部を有するソルダ-レジストを形成する工程と、前記ソルダ-レジストの前記開口部に位置する前記電極の開口部位にハンダバンプを形成する工程と、支持基板の支持電極に前記ハンダバンプを結合することにより、前記圧電素子を前記支持基板に取り付ける工程と、前記ソルダーレジストを除去する工程と、よりなる圧電振動子の製造方法。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/08
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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