特許
J-GLOBAL ID：200903059892205701

スルホン酸化ポリイミド樹脂の成膜方法及び成膜装置

発明者：
高橋 善和

高橋 善和 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 北村 欣一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-279276
公開番号（公開出願番号）：特開2006-089681
出願日： 2004年09月27日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】有機溶媒が必要な湿式法によらず、樹脂本来の耐熱性や耐酸化性を備えたスルホン酸化ポリイミド樹脂を作製する方法を提供する。【解決手段】四カルボン酸二無水物と、スルホン酸基含有のジアミン化合物とをそれぞれ原料モノマーとする蒸着重合反応によりスルホン酸化ポリイミド樹脂の成膜を行う。この際、蒸着重合反応前に、前記スルホン酸基含有ジアミン化合物に対して、真空中70〜300°Cの温度範囲にて脱水処理を行うことが望ましい。あるいは、蒸着重合反応に際して、スルホン酸基含有ジアミン化合物の蒸発温度を該アミン化合物の固相重合温度以下とすることが望ましい。また、蒸着重合反応により成膜されたスルホン酸化ポリイミド樹脂に対して、さらに、70〜180°Cの温度範囲及び保持時間1時間以上にて、熱イミド化処理をおこなうことが望ましい。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
四カルボン酸二無水物と、スルホン酸基含有のジアミン化合物とをそれぞれ原料モノマーとする蒸着重合反応により成膜を行うことを特徴とするスルホン酸化ポリイミド樹脂の成膜方法。
IPC (1件)：
C08G 73/10
FI (1件)：
C08G73/10
Fターム (28件)：
4J043PA04 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA49 ,  4J043SA82 ,  4J043SB01 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA262 ,  4J043UB152 ,  4J043UB272 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA062 ,  4J043XA02 ,  4J043XA07 ,  4J043XB34 ,  4J043ZB11 ,  5H026AA06 ,  5H026BB00 ,  5H026BB01 ,  5H026BB10 ,  5H026CX05 ,  5H026EE18 ,  5H026HH08
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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