自由空間ガススラブレーザ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-515835
公開番号（公開出願番号）：特表平11-509373
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】一対の細長い互いに平行な電極(91,92)が、管状ハウジング(111)内に矩形のガス放電区域(40)を形成する。電極相互間の最小離隔距離(A)は、安定レーザ共振器(17)の基本自由空間モードの直径である。多光路光学装置(30,50)が、能動媒質の全幅(B)を用いて高出力コンパクトレーザ(10,200)を生じさせる。変形自在な支持リング(97)が圧縮されて電極を押し広げて円筒形スペーサ(99)に当接させ、それにより電極の空間的位置関係を維持する。RFフィード(103)がハウジングを貫通して電極に密封的に(112)連結されている。空冷式ヒートシンク(161,162,176,177)が、レーザ管に可撓的に取り付けられた状態でしっかりと保持されており、捩じり変形、心ずれ及び不安定性を減少させる。

請求項（抜粋）：

ガススラブレーザであって、ガス閉込め構造体と、ガス閉込め構造体内に設けられていて、横断面が実質的に矩形のガス放電区域を形成する一対の互いに平行な電気絶縁性の電極と、ガス閉込め構造体内に封入されたレーザガス混合物と、各電極に結合されていて、RF励起源に結合されるようになったRFフィード端子と、ガス閉込め構造体の互いに反対側の端部に取り付けられてレーザ共振器を形成するようになった反射光学素子から成る装置とを有し、電極相互間の最小距離は、ガス放電区域内で任意の方向において実質的に自由空間レーザ共振器として動作できる安定レーザ共振器の基本モードの最大横断面寸法以上であることを特徴とするガススラブレーザ。

IPC (4件)：

H01S 3/0975 , H01S 3/038 , H01S 3/042 , H01S 3/081

FI (4件)：

H01S 3/097 D , H01S 3/081 , H01S 3/03 D , H01S 3/04 L

引用特許：

審査官引用 (8件)

特表平3-502626
特開昭63-192285
パルス波CO2レーザー
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-293554 出願人：コヒーレント・インク

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