特許
J-GLOBAL ID:200903059932369273
生産管理方法および生産管理装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-326031
公開番号(公開出願番号):特開2004-165216
出願日: 2002年11月08日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】ライン状態を正確に判定し、事前に異常を察知し、察知した異常に対して適切な対策を実施して生産量の増大、リードタイムの短縮を実現する。【解決手段】生産ラインに関する情報を記録している生産管理データベース405から、ライン状態表示パラメータ設定部410が、ライン状態を表す複数のパラメータを抽出し設定する。基準空間作成部415が、前記複数のパラメータについて、正常なライン状態を表す複数のサンプルデータを収集し、基準空間を作成する。マハラノビス距離計算部420が、生産管理データベース405から前記パラメータについて任意時刻の観測データを収集し、マハラノビス距離を計算する。このマハラノビス距離の時系列データを用いて、ライン状態判定部425がライン状態の傾向を監視し診断する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
生産ラインにおけるライン状態を診断する方法であって、
ライン状態を表す複数のパラメータを設定する工程と、
前記複数のパラメータにおける正常なライン状態を表すサンプルデータを収集する工程と、
収集した前記サンプルデータを用いて基準空間を作成する工程と、
前記複数のパラメータについて観測データを収集し、収集した観測データを用いて前記基準空間上でマハラノビス距離を計算する工程と、
前記マハラノビス距離の時系列データを用いてライン状態の傾向を判定する工程とを含むことを特徴とする生産管理方法。
IPC (3件):
H01L21/02
, G05B19/418
, G06F17/60
FI (3件):
H01L21/02 Z
, G05B19/418 Z
, G06F17/60 108
Fターム (9件):
3C100AA29
, 3C100AA56
, 3C100AA62
, 3C100BB02
, 3C100BB03
, 3C100BB12
, 3C100BB31
, 3C100BB33
, 3C100EE06
引用特許:
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