ポジ型感光性組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-157278
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022126
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】高感度、高解像力、及び良好なプロフアイルを持ち、経時による析出のない、3成分系化学増幅型のポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 (a)式(I)で示される構造単位と、式(II)又は/及び式(III)で示される構造単位を含む、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物等、からなる群から選ばれた少なくとも1種である。

請求項（抜粋）：

(a)式(I)で示される構造単位と、式(II)又は/及び式(III)で示される構造単位を含む、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、からなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R01:水素原子もしくはメチル基、R02〜R04:同一でも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、ヒドロキシ基、シアノ基、ニトロ基もしくはハロゲン原子、l,m,n:それぞれ0もしくは1〜3の整数、を表す。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/00 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (7件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253523 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-286045 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-305929 出願人：富士写真フイルム株式会社

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審査官引用 (6件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253523 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-286045 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-305929 出願人：富士写真フイルム株式会社

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