特許
J-GLOBAL ID：200903059938284750
電子デバイス材料及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田治米 登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113283
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283514
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 酸化シリコン膜上に有機材料膜が形成された電子デバイス材料の当該酸化シリコン膜と有機材料膜との間の接着性を向上させる。【解決手段】 酸化シリコン膜とその上に形成された有機材料膜とからなる電子デバイス材料において、有機材料膜にシランカップリング剤を含有させる。この電子デバイス材料は、酸化シリコン膜上に、シランカップリング剤とマトリックス樹脂とを含有する有機材料膜形成用組成物を塗布するか、又はシランカップリング剤とマトリックス樹脂とを共蒸着させて有機材料膜を形成することにより製造できる。
請求項（抜粋）：
酸化シリコン膜とその上に形成された有機材料膜とからなる電子デバイス材料において、有機材料膜がシランカップリング剤を含有することを特徴とする電子デバイス材料。
IPC (3件)：
H01L 21/312
, C09D183/04 PMT
, H01L 21/768
H01L 21/312 N
, H01L 21/312 C
, C09D183/04 PMT
, H01L 21/90 S
