CVDソース物質回収装置及び回収方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-302576
公開番号（公開出願番号）：特開2003-105543
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 CVD排ガス中の未反応のCVDソース物質を目詰まりなく効率的に捕集・回収することのできる、回収装置、回収方法を提供する。【解決手段】 CVD装置と排気ポンプの間にフィルタ装置を設け、該フィルタ装置内のフィルタがアクリロニトリル単位を50重量%以上含有しイオン性基を0.1〜6.0mmol/g含有するアクリロニトリル系重合体により形成された繊維の集合体からなるものであり、且つ、フィルタの空隙率が70〜99%である、ことを特徴とするCVDソース物質回収装置。

請求項（抜粋）：

CVD装置と排気ポンプの間にフィルタ装置を設けた、CVDソース物質回収装置において、該フィルタ装置内のフィルタがアクリロニトリル単位を50重量%以上含有しイオン性基を0.1〜6.0mmol/g含有するアクリロニトリル系重合体により形成された繊維の集合体からなるものであり、且つ、フィルタの空隙率が70〜99%である、ことを特徴とするCVDソース物質回収装置。

IPC (6件)：

C23C 16/44 , B01D 39/00 , B01D 39/16 , B01D 46/00 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/72

FI (7件)：

C23C 16/44 E , B01D 39/00 A , B01D 39/16 A , B01D 39/16 E , B01D 46/00 F , B01D 53/34 120 D , B01D 53/34 ZAB

Fターム (35件)：

4D002AA40 , 4D002AB03 , 4D002AC10 , 4D002BA13 , 4D002BA14 , 4D002BA16 , 4D002CA07 , 4D002DA70 , 4D002FA01 , 4D002GA01 , 4D002GB08 , 4D002GB20 , 4D019AA01 , 4D019AA02 , 4D019BA13 , 4D019BB03 , 4D019BB10 , 4D019BC04 , 4D019BD01 , 4D019BD02 , 4D019CA03 , 4D019CB04 , 4D058JA02 , 4D058JB14 , 4D058JB25 , 4D058JB29 , 4D058JB39 , 4D058JB41 , 4D058RA02 , 4D058SA15 , 4D058TA02 , 4K030AA11 , 4K030EA12 , 4K030KA46 , 4K030LA15

引用特許：

出願人引用 (5件)

真空排ガスフィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-051920 出願人：東洋紡績株式会社
レ-ザ成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000722 出願人：株式会社東芝
特開平4-143286

全件表示

審査官引用 (5件)

真空排ガスフィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-051920 出願人：東洋紡績株式会社
レ-ザ成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000722 出願人：株式会社東芝
特開平4-143286

全件表示

前のページに戻る